二手 KLA / TENCOR 2835i #9384468 待售
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ID: 9384468
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
System, 12"
EFEM Module
YASKAWA Robot 9206
With (2) IsoPorts
2008 vintage.
KLA/TENCOR 2835i是一种用于检测光掩模和晶片上的小缺陷和非均匀性的掩模和晶片检测设备。它利用先进成像技术和专门软件算法的独特和先进的组合,提供从表面水平异常到污染和材料故障等各种设备缺陷的详细信息。该系统包含一个高分辨率的成像头,在微观水平上拍摄光掩模或集成电路上的特征图像。映像头由Pentium计算机供电,该计算机具有4GB的RAM和高达64 GB的硬盘空间。一个专用的自动化晶片处理单元将晶片精确定位在成像头的视场中,从而能够准确定位缺陷并进行检查。KLA 2835i提供光场和暗场成像,用于完整的缺陷检测。这包括地形测量和元素光谱来识别化学品和化合物。专门的软件和算法测量可疑缺陷的大小、形状和方向,进而协助用户进行缺陷分类。TENCOR 2835i还可以测量拓扑、紫外线(UV)、光学、电子束等多种参数。利用先进的分水岭分割算法,结合专用的基于特征的分类机,2835i能够准确识别、分类和测量各种缺陷。KLA/TENCOR 2835i能够检测小于10nm的缺陷,可重复性精度为1nm(影像尺寸的1%)。这种高度精确的工具允许在包括半导体、照明、光学、太阳能、生物技术和微电子系统在内的各种行业中进行可靠的掩模和晶圆检查。KLA 2835i的综合缺陷分析简单高效,因为它具有直观、用户友好的界面。它具有内置的手动缺陷审查资产,以确保检查和记录所有缺陷。总之,TENCOR 2835i是一种先进的掩模和晶圆检测模型,它提供了准确、自动化的缺陷检测和分类以及全面的缺陷分析。这种设备在广泛的工业应用中是有效的,使其成为生产和测试光掩模和集成电路的宝贵工具。
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