二手 KLA / TENCOR 2920 #9375410 待售

KLA/TENCOR 2920是一种掩模和晶片检测设备,它提供有关掩模和晶片关键特征以及缺陷分析的清晰准确的图像。它拥有高分辨率的数字成像系统和用于图像比较和分析的最先进的软件。该装置拥有专有的RapidImageSource™成像机和先进的多频散射扫描光学器件，为掩模和晶圆检测提供了卓越的灵敏度和准确性。它可用于自动检查蚀刻后晶片、光掩模和照明掩模目标的关键特征和缺陷。KLA 2920配备了包括图像采集资产、图像比较和分析软件以及定位模型在内的高分辨率数字成像工具。该成像设备利用独特的散射光束和高度灵敏的CCD摄像机来捕捉掩模和晶片上关键特征的清晰准确的图像。多频散射扫描光学系统允许成像单元以40 nm的分辨率获取图像。这台机器经过优化以检测小缺陷并确定其大小、形状、位置和方向。分析软件可以实现模式识别、图像增强和缺陷自动分类。该工具还具有用于精确样品扫描的先进定位机制。TENCOR 2920还具有增强的过程控制能力。它可以监控从启动到诊断测试的整个过程，提高吞吐量、重复性和质量控制。资产可以自动生成详细报告，并提供实时数据，用于流程优化和纠正措施。2920是一种可靠、通用的面膜和晶圆检测模型。它提供卓越的成像功能、增强的过程控制功能和高级分析软件,以实现缺陷检测的最大精度。该设备为图桉化晶片、光掩模和光镜掩模检查提供了经济高效的解决方桉。