二手 KLA / TENCOR 3000P #293610009 待售

KLA / TENCOR 3000P
製造商
KLA / TENCOR
模型
3000P
ID: 293610009
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 3000P掩模和晶片检测设备是一个自动化的高级成像系统,旨在使晶片和掩模在亚微米级缺陷。该单元非常适合半导体生产过程中的质量保证/质量控制(QA/QC),它可以检测表面缺陷、线宽和空间、迭加误差和缺失特征。该机采用高分辨率数码相机和先进的成像软件,允许精确的视觉工具放置和布局。KLA 3000P使用的成像软件为每次检查提供尺寸参考点,可以从晶圆图上的任何位置进行测量。这使操作员无需额外的操作员输入即可轻松检查缺陷。该资产还配备了一系列可拆卸的探针和传感器,如X射线、光学和接触检查,以进行详细的电气测量。它还具有多站点和多平面检查功能,使其能够从多个级别获取可操作的信息,以便更有效地检查和识别掩码和晶片上的模式错误。TENCOR 3000P设计有各种各样的性能参数,让运营商最大限度地发挥其潜力。这些参数包括图像放大和绑定、光斑曝光和光斑曝光级别。此外,模型的自动化软件设计灵活,用户友好.它可以编程为一次执行多个测量,并识别、识别和报告接近微米精度水平的缺陷。此外,3000P设备还具有多种安全功能,例如备份映像存档,使操作员能够立即查找和解决检查过程中可能遗漏的任何缺陷,以及易于导航的用户友好触摸屏界面。总体而言,KLA/TENCOR 3000P是一个极其可靠、先进的系统,致力于为任何必要的应用程序提供准确、详细和全面的掩模和晶片检查。其强大的设计、全面的特性和可靠的性能使其成为任何半导体生产过程中不可缺少的宝贵组成部分。
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