二手 KLA / TENCOR 3200-1225-03B #9294183 待售

KLA/TENCOR 3200-1225-03B掩模和晶片检测设备是一种高性能的工具,能够检测晶片是否有缺陷,从而能够快速、准确地调整光刻工艺中模具在掩模或晶片上的位置。该系统设计用于检查线宽为25 µm至1.2 mm的晶片，并具有+/-0.25 µm精度的测量特征。该单元包括+/-0.05 mm x 0.12 mm的8英寸模具到掩模可重复性，+/-0.04 mm x 0.13 mm的12英寸模具到掩模可重复性，+/-0.02 mm x 0.06 mm的多层模具内可重复性。KLA 3200-1225-03B机配备高速双探针激光扫描仪，具有步进和重复绘图算法。这种扫描绘图工具可以使激光束在掩模或晶圆的整个表面快速移动，准确检测和处理缺陷。然后,资产使用KLA专有的光学字符识别（OCR）技术来识别和测量掩模或晶片上的特征,以便与参考标准进行比较。此外，TENCOR 3200-1225-03B模型还配备了专门的成像和跟踪软件，允许便携式注册技术，以确保掩模与晶片精确对准，反之亦然。该技术确保了模式数据的正确放置和精确对齐，解决了偏移模式生成问题。3200-1225-03B设备独特的斜边设计进一步提高了其精度，因为它能够精确跟踪内部图桉布局。KLA/TENCOR 3200-1225-03B还提供最先进的数据分析和报告工具，收集和编制关于检查结果的全面报告。这使客户能够对生产操作进行实时调整,从而确保最高级别的质量保证。总之，KLA 3200-1225-03B掩模和晶片检验系统是一种高度先进的工具，能够提供广泛的数据收集和分析能力。它是为精确精确的掩模和晶圆检测而设计的，为客户提供高品质产品的保证。