二手 KLA / TENCOR 7200 #293828742 待售
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KLA/TENCOR 7200是一种掩模和晶片检测设备，用于对光掩模或晶片中的层进行精确检测。它采用先进的光学检测技术，在厚度在0.3到2.4mm之间的晶片上检测分辨率为0.1µm的缺陷。这使得它适合用于制造高精度、高性能的半导体器件和MEMS。KLA 7200系统由多个组件组成,包括Red Skin阶段、成像单元、模式识别机和缺陷审查工具。Red Skin舞台可以容纳光掩模和晶片，而成像资产（包括光源、光学器件和照相机）可以捕捉样品图像，最大分辨率为0.1µm。然后,模式识别模型使用算法检测边缘和结构的不规则性,而缺陷查看设备则存储一个图像库,并查看图像的保形和离散性缺陷。TENCOR 7200系统能够处理各种样品。在光掩模的情况下，该单元可以检测到表面缺陷、线宽不规则和针孔。对于晶片，它可以检测到模式匹配缺陷、线宽不规则性、粒子缺陷等。7200还具有增强的软件功能,使其更易于使用和处理数据。这些功能包括自动晶圆映射排序、高级运行/跟踪分析和无掩码自动对焦。总体而言，KLA/TENCOR 7200是一种用途广泛、可靠的掩模和晶片检测机，可提供高精度的表面和层不规则检测。它结合了先进的光学检查技术、全面的软件功能和有效的缺陷审查过程,使其成为希望以最高精度检查各种组件的制造商的理想选择。
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