二手 KLA / TENCOR 9110 #293606940 待售

KLA/TENCOR 9110面膜和晶片检测设备是一个高端自动检测平台，设计用于光刻面膜和晶片的自动检测。KLA 9110系统包含一个全封闭的集成光学单元、图像质量分析（IQA）算法，以及一个全自动软件套件，可以为大型作业提供快速、准确的结果。TENCOR 9110机具有5MP CMOS数字成像平台，具有可调的光学、比例和聚焦子系统。该工具设计有一个完全封闭的光学腔室，允许大视场和大动态范围。光学元件结合了透镜、彩色滤镜和消色差棱镜,可实现宽视场、高分辨率成像和图像分析。KLA算法集成允许基于CAD模式、基板类型、资产设置和其他几个参数自动过滤缺陷。该算法辅以一组独特的测量，包括光谱仪、成像和大小、模具标识符标志、检查数据采集和分析以及缺陷尺寸测量。该模型还提供了一个交互式、直观的用户界面，帮助鉴定缺陷，设置检查参数，工程图形，模式识别等等。这个直观的GUI有一个完全集成的帮助菜单，允许方便的导航和操作。9110 Mask and Wafer Inspection Equipment提供极高的准确性和可重复性。检测过程的高精度和可视化使系统非常适合许多应用，包括半导体晶片检测、模模检测、晶片级缺陷表示以及掩模完整性和模式精度验证。为了确保人员和设备的安全和保护，该单位包括一套附件部件。这些附件包括真空机、冷却工具、机械长袍和可确保外界污染风险最小的自锁盖。KLA/TENCOR 9110资产还附带了打滑重量优化，在处理更大的生产作业时尽量减少振动，提高整体精度。总体而言，KLA 9110掩模和晶片检验模型是光刻掩模和晶片自动化检验的可靠、高度准确、直观的检验平台。众多功能、可靠的算法和直观的用户体验使用户能够快速准确地处理检查作业。