二手 KLA / TENCOR Archer 10 AIM+ #9236397 待售

KLA/TENCOR Archer 10 AIM+是一种先进的用于掩模和晶圆检测的成像计量和缺陷审查（AIMD）解决方桉。这台设备采用了亮场光、先进光学和快速相机技术的组合，以识别口罩和晶片上的缺陷。系统使用高标记点源（HMPST）来照亮和捕捉准确和可重复的图像。KLA Archer 10 AIM+根据应用配备了两个不同的成像模块：Brightfield和Darkfield。Brightfield模块使用brightfield照明进行缺陷检测和光刻优化，包括聚焦和成像光学和全场照明，用于自动缺陷审查。装置的暗场设计用于在检测某些缺陷如湿蚀刻加法器、桥接和碎裂时提高灵敏度。机器可以同时处理大口罩和晶片，直径可达6英寸，最高温度可达700℃。TENCOR Archer 10 AIM+采用了先进的硬件架构，实现了快速高效的数据传输和图像处理。工具收集的图像数据存储在资产本身中，使技术人员可以随时查看和分析。该模型提供了广泛的功能和技术,包括自动缺陷审查、高级数据分析和高级模式匹配。它还包括对象装配和缺陷识别工具，以准确定位和分类缺陷。此外,设备能够进行缺陷分析,以量化缺陷类型、识别过程敏感性并生成缺陷拓扑报告。为了保证精度和可重复性,Archer 10 AIM+具有光学自动对焦功能,能够对样品进行分析以获得最佳聚焦,然后调整样品振动和位置,以重新建立最佳聚焦。该系统还具有用于较高温度环境的高亮度选项,以及用于延长设备寿命的低功耗选项。最后，KLA/TENCOR Archer 10 AIM+配备了用户友好的图形用户界面，便于设置和编程。机器还包括实时错误检测和校正功能，以及后处理算法，以获得额外的精度。KLA Archer 10 AIM+可以帮助晶圆和掩模制造商实现最大产量，并以经济高效的方式获得可靠的质量数据。