二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #293750588 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是一种高性能的掩模和晶片检测设备,提供卓越的成像能力,以实现高级晶片缺陷检测和过程监控。KLA ARCHER10XT能够精确检测到10nm以下的缺陷。该系统采用了高速扫描、<400nm像素分辨率的低通量光源、0.3nm横向和z轴分辨率的三维显微镜技术等多种技术。此外,该设备还采用了最新的缺陷检测算法,以方便对掩模和晶片表面进行高通量和高效的检查。TENCOR ARCHER 10XT可用于掩模和晶圆表面的2D、3D和基于缺陷的自动检查。它支持500多种不同类型的缺陷,提供卓越的检测和表征功能。该机器还能有效扫描各种类型的检查,包括线宽/CD、临界区域/CAD分析和粒子/缺陷检查。该工具的高分辨率扫描光学器件可实现10nm或更小的高灵敏度检测。资产采用开放式体系结构设计,采用模块化配置,便于扩展和灵活性。它具有多种功能,包括远程访问和自动化、多个用户支持以及多点实时查看。此外,该模型还通过包括FOUP处理、图像库和缺陷跟踪在内的全方位服务选项提供高流程吞吐量。KLA Archer 10 XT还包括一套全面的过程分析工具，以允许全面的晶圆过程控制。该设备在不到三分钟的时间内为晶片提供结果，并提供各种数据采集模式，包括抽查、光掩码、焦点图、线宽扫描和缺陷图显示。ARCHER10XT还提供全面的自动化功能,包括作业调度和协调、自动对齐和焦点控制、自动故障隔离和自动化数据分析。此外,它的模块化设计允许使用特定于流程的软件模块轻松增强它,从而允许客户根据独特的流程要求定制其系统。总体而言，KLA ARCHER 10XT是一个提供低噪声成像和先进缺陷检测功能的高性能掩码和晶圆检测单元。KLA/TENCOR ARCHER 10XT具有高通量的流程功能、模块化设计和自动化功能,是需要高级检查和流程控制的客户的绝佳解决方桉。