二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9092331 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是专门为光掩模、晶圆和其他半导体基板的自动检测和分类而设计的掩模和晶片检测设备。它是一个完全集成的、独立的系统，结合了高性能光学、先进的图像处理算法和激光技术，提供了对掩模特征的准确和详细的表征。KLA ARCHER10XT利用自动化的多波长投影单元来获取掩码和晶片的高精度图像数据。其投影机配备了一个10百万像素数字CMOS图像传感器，其校准分辨率为3.3 μ m，总体精确测量量可达0.2 μ m。它还包括具有可变数值孔径范围的先进光学器件，以及根据测量要求调整照明强度和波长的激光控制模块。图像数据的数据处理是通过实现不同算法的自动化图像预处理和分析工具完成的。这些算法分析有关索引、特征大小和特定属性的图像数据。它还应用分类算法优化数据分析，获得特征的准确分类。一旦处理完毕，TENCOR ARCHER 10XT可以以可导出的格式产生广泛的报告和定制的数据分析。它还可以导出原始数据文件,供其他检查系统进一步分析。此外,它还提供了详细的、可追踪的质量保证控制文档。此外,该资产与晶圆检查和prober自动化系统完全兼容,并且可以配置为在全自动环境中运行。此外,ARCHER10XT还提供了用户友好的图形用户界面（GUI）和直观的导航功能,便于使用和操作。它还包括用于定制检查任务的预配置模板和用户定义模板库,以及针对不同的掩码和晶圆定制的多个自动配方。这样可以更轻松地定义和保存所需的参数,从而显着减少检查时间和生产成本。TENCOR Archer 10 XT是光掩模和晶圆制造商的理想解决方桉。它提供了一个高度准确和可靠的检验模型，提供了对掩模特征和缺陷的快速、准确和全面的表征和分析。