二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9250148 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是一种掩模和晶圆检测设备，为一系列半导体工艺节点提供高通量和精确计量。KLA ARCHER10XT设计用于检测最小的特征,包括0.05 µm的线宽,使其成为5/5nm等高端技术节点的理想选择。该系统提供高达20 µm的更广阔视野（FOV）,实现了现场到现场、步进和重复的测量。通过使用先进算法，TENCOR ARCHER 10XT即使在极低对比度图像中也能准确地确定粒子的存在及其特性。KLA/TENCOR ARCHER10XT是建立在一个先进的硅绝缘体（SOI）晶片上的，即使在非常小的尺寸上也能检测到粒子。先进的亮场光学元件,加上更大的动态范围和更大的曝光范围,支持在暗面和反射面以及所有临界层深度检测缺陷。该装置的独特之处在于其溷合照明机，它结合了增强的暗场、明场和倾斜照明，以更好的对比度和成像。ARCHER10XT的高级软件包括专有算法和同时捕获多个图像,以提高缺陷灵敏度和错误的呼叫减少。该工具还提供了广泛的测量技术,并结合了易于使用的"智能捕获"工具,该工具可优化检查设置以提高吞吐量、准确性和可靠性。TENCOR ARCHER10XT还提供了一套独特的检查功能,包括边缘检测、特征识别和屏障层测量。边缘检测功能还可以通过扫描包括覆盖在内的全临界掩模层来更好地分析掩模特征。先进算法支持的特征识别技术可更快、更准确地测量复杂的形状和图桉。最后,屏障层测量功能提供高达0.01µm的精度,确保高保真模式测量,即使对于狭窄的沟线也是如此。这些功能结合起来，为TENCOR Archer 10 XT提供了一个可靠高效的掩模和晶圆检测解决方桉。该资产为一系列半导体工艺节点提供了先进的计量，其精确度和精确度在业界是无与伦比的。