二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9258184 待售
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已售出
ID: 9258184
优质的: 2001
Overlay inspection system
FOUP, 12"
Install type: Stand alone
Run daily pm test:
PZT P High voltage
PZT Z gain
PZT Z feedback
Halogen light source
PDA gain, X, Y axis
Wafer surface focus and analysis patent
LINNIK camera uniformity
AMS camera uniformity
Check shutter response time
Fringes ON to OFF mean time
Fringes OFF to ON mean time
GEM/SECS
Line conditioner, 60 Hz
Power requirements: 208/230 V, 3-Phase / 1-Phase, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR Archer 10 XT是一种用于半导体制造的掩模和晶圆检测设备。它有助于快速准确地检测和识别光掩模和晶片中的缺陷。KLA ARCHER10XT配备了自动缺陷审查系统,对可疑特征进行全面分析,使用户能够快速、轻松地调查和解决光掩码和晶片中的潜在缺陷。此外,该设备具有检测小缺陷的高灵敏度,其分辨率范围从0.7微米到12微米不等,具体取决于应用程序。TENCOR ARCHER 10XT使用20X激光器和快速光学器件快速扫描设备的整个表面,不需要任何物理样品移动。该机器设计用于处理多种设备类型,包括MEMS/MOEMS、晶圆和光掩模。其成像能力也适用于先进结构,如FinFET、Fin场效应晶体管、HBLED、高亮度发光二极管。除了成像能力外,KLA/TENCOR ARCHER 10XT还具有一系列精密的软件功能,以提高检查过程的速度和准确性。该工具可配置为根据预设条件或用户指定的其他方式识别和分类所有潜在缺陷。高级缺陷聚类、专用缺陷状态机、合成缺陷生成等功能为高级数据分析提供了详细的智能。此外,ARCHER10XT能够创建具有可配置的照明、对比度和颜色值的缺陷图像,并且具有强大的后处理资产以及自动缺陷大小和缺陷内存比较软件。这使用户能够在检查前后轻松地可视化和比较设备中的任何变化。该模型还支持广泛的接口,使其能够轻松地与现有的生产流程集成。此外,高级Web和报告功能使用户能够远程访问和分析数据。总体而言,ARCHER 10XT是一种先进的掩模和晶圆检测设备,提供快速、高效的缺陷检测和分析,精确度更高。其功能丰富的软件、映像功能和连接选项使其成为任何半导体制造环境的重要补充。
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