二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9261900 待售

KLA Archer™ 10 XT+是一种全自动的高端设备,用于掩模和晶圆检查。该系统专为高级IC制造应用而设计,用于检测光掩码和晶片中的缺陷。KLA/TENCOR Archer 10 XT+采用高分辨率成像技术,可提供高图像质量和清晰聚焦,用于检测表面上的微小缺陷。它有一个自动化的计量单元，可以测量和分析各种各样的模式和特征。机器的软件控制，5轴直线电动机级允许快速和精确的操作面罩和晶片。该工具配备了激光干涉扫描仪，每晶圆可提供高达100亿个测量点。它还有一个激光照明、超窄场检查头，有一个可用于高分辨率扫描检测关键缺陷的照明显微镜区域。KLA Archer 10 XT+采用强大的图像识别技术来识别缺陷。其影像分析处理资产（Imaging Analysis Processing Asset，IAPS）可以自动输出缺陷状态的数据，并能从过程污染中检测出微小颗粒、划痕和微小颗粒。此外,该模型的远程诊断功能还提供了用于缺陷信息评估、故障诊断和设备运行状态监控的远程访问。最后,TENCOR Archer 10 XT+提供了快速校准功能,能够以最小的停机时间实现准确和可量化的结果。其高精度、自动化的校准设备可以测量光学器件和机械级系统的对准，以确保最高的精度和可重复性。该单元能够为各种应用程序提供可靠的检查解决方桉。它可以检查最苛刻的嵌入式缺陷检测需求，包括微米级缺陷和基于模式的检测，以及蚀刻和抵抗相关缺陷。其高端技术和特点可确保快速准确地检测缺陷,同时提高工艺稳定性和产量。