二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 待售
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ID: 9280138
晶圆大小: 12"
Overlay measurement system, 12"
With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K
Dual load ports EFEM
BROOKS AUTOMATION Handler
With pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Signal light tower: Red / orange / green
Main body
Handler
Monitor
I/O Interface board
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Pneumatic box
Optic
Z-Stage
Printer
Shelf
Keyboard
Mouse
Signal light tower
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP
BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP
Controller
EMO
Floatation controller
(5) Motion controllers
Computer
Shutter module
Lamp housing module
PZT Controller
DC Transformer
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XT是一种下一代的掩模和晶圆检测设备，旨在满足最苛刻的半导体制造要求。该系统由领先的检测技术提供商KLA开发,具有先进的模式识别、3D表面测量、数字图像关联和预测分析等多种顶级工具。KLA ARCHER10XT是TENCOR系列超高精度、用于晶圆和掩模制造、封装和故障分析的高速成像解决方桉系统中的最新型号。TENCOR ARCHER 10XT强调速度、精度和鲁棒性,提供高达133 nm分辨率的高级成像功能。该设备的扫描电子显微镜（SEM）提供晶片上晶体管门等物品的超高分辨率数字图像。这可以在一次扫描中完成，从而能够应用广泛的检查策略。机器可以快速有效地进行检查,并生成详细、准确的数据,以帮助以无与伦比的速度、精度和准确性识别缺陷或可变性。KLA/TENCOR ARCHER 10XT具有先进的DefectTeller™ 3D表面测量功能,可测量无与伦比的Global CD （GCD）的表面粗糙度,同时识别和绘制高重复性和准确性的缺陷。该工具的UltraArt™预测分析和数字图像关联功能使用户能够准确、可靠地测量其设备或掩码上的特征的精细细节。资产还可以通过额外的性能提升轻松升级，推动晶圆检测的极限。借助KLA/TENCOR独家的"交换和查看"升级流程,客户可以升级其TENCOR Archer 10 XT,而无需购买新的硬件组件,从而实现最大价值和总体流程性能优化。KLA ARCHER 10XT是众多制造商的理想解决方桉,从智能手机等次波长设备到前沿半导体设备的高级节点处理节点。该模型提供了出色的缺陷检测、成本节约和可靠的制造性能,为晶圆和掩模检查设定了新的标准。
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