二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9351476 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT+是一种高度先进、集成的掩模和晶圆检测设备,可提供广泛的高级成像功能。该系统提供晶圆和光学标线的快速、准确的现场成像,旨在最大限度地提高效率并缩短检查时间。KLA Archer 10 XT+包括高分辨率光学器件、全自动计算机控制的对准单元、电动x-y级以及自动对焦扫描功能。这台机器能够成像500毫米x 550毫米的视场,每像素分辨率高达0.4 μ米。其集成的光学模块包括LED照明、可调闪光强度和可变激光强度，以实现晶圆和掩模图样的最佳照明。该工具还配备了独特的"透视补偿"工具，使资产能够可视化低至0.35 μ m的模式。TENCOR Archer 10 XT+提供高速成像,吞吐量速度是市场上任何其他集成机型的两倍。这种速度保证了缺陷的快速检测和诊断，提高了工艺产量和质量保证。在内部,设备采用为应用程序定制的高级软件算法来处理直接来自其高精度成像光学器件的图像。这些算法压缩数据以保留原始信噪比，同时检测和表征现场图像中的缺陷。软件还为操作员提供了自定义系统设置的灵活性以及直接从图像处理器查看高分辨率图像的能力。设备的整体灵活性和模块化确保它能够针对不同的掩模和晶圆应用进行高效定制。根据应用程序的不同,可以对计算机应用多种配置。例如，可以在工具中加入非球面光学和屈光光学，以提高图像质量，并且可以很容易地配置多级成像系统。简而言之,Archer 10 XT+是一种高级集成掩码和晶圆检查资产,它提供了快速的吞吐量、高分辨率、可自定义的配置以及专门为掩码和晶圆成像设计的软件算法。其先进的成像能力显着提高了检测缺陷的能力，显着提高了工艺产量和质量保证。