二手 KLA / TENCOR Archer 10 #9104743 待售

KLA/TENCOR Archer 10是一种先进的光学成像设备，设计用于掩模和晶圆检查。它是临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）等半导体应用的理想选择，能够高精度测量集成电路（IC）的关键特性。KLA Archer 10的核心是一个独特的光学光刻系统，将激光、接触和电子束成像与突破性的自动模式识别（APR）单元结合在一起。这使得TENCOR ARCHER10能够在测量极其复杂的模式时获得前所未有的准确性和吞吐量。它可以精确测量小至0.1微米的设备,并自动识别具有各种不同形状、大小和特征的阵列。TENCOR Archer 10还具有高分辨率CMOS成像机，可捕获晶圆和掩模的8K分辨率图像。此工具允许对基板和缺陷进行极高分辨率的查看,使用户能够在进入生产过程之前识别和解决任何问题。此外，其集成光学故障分析（OFA）资产允许在晶圆通过模型时对晶圆缺陷进行实时检测和评估。最后，ARCHER10还配备了强大的数据采集设备，可以收集和同步多达四个独立的成像源。该系统效率很高,可以对单个IC进行深入调查,例如IC故障分析或IC性能调整。总体而言，KLA ARCHER10是一个强大而先进的装置，旨在提供可靠、准确和快速的口罩和晶片检查。其板载特性、高度灵敏和先进的图像传感器以及实时模式识别能力的结合，使其成为半导体检测中的领先机器。