二手 KLA / TENCOR Archer 10 #9237503 待售

KLA / TENCOR Archer 10
ID: 9237503
晶圆大小: 8"
Overlay measurement system, 8" SMIF.
KLA/TENCOR Archer 10是一种顶级的线掩模和晶圆检测设备,设计用于对半导体制造中使用的光掩模和晶圆进行可靠和准确的测量。该系统能够以很高的精度测量非常小的特征。它还能够对复杂的三维结构进行测量。KLA Archer 10单元的中心组件是高功率光源和高效光谱滤波器的线性阵列,使其能够成像并检测光强度和颜色的变化。该机器还包括一个称为"杂光挡板"的光学工具,它消除了光源的散射,并确保只对样品特征进行成像。一旦样品被照亮,就会检测到样品的特征,资产可以通过手动或自动分析来测量样品的大小、形状和位置。此分析包括检测不规则,如条状形成,以及粒子密度、外来粒子缺陷频率、断层表征和表面映射。TENCOR ARCHER10模型还提供了高级计量功能,使其能够测量样本特征的高度、宽度和地形。它还可以测量透明和不透明表面的透射和反射率,以及这些表面的颜色和亮度。此外,设备还配备了各种控制和数据采集软件程序,使操作员能够进行复杂的自动化或手动测量。它还包括一套分析和成像软件,包括用于检测粒子和成像缺陷的自动聚焦。Archer 10系统配备了高速视觉单元,并提供了广泛的图像采集设备和探测器来捕捉样品的高分辨率图像。机器还可以测量其他特性,如模模均匀性,可用于在单个会话中评估多个样本。ARCHER10具有强大的设计和先进的成像功能,是一种令人印象深刻的掩模和晶圆检查工具,能够提供可靠和准确的测量。它提供快速、高效、准确的分析,是半导体制造的理想选择。
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