二手 KLA / TENCOR Archer 100 AIM+ #293606200 待售
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已售出
ID: 293606200
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Overlay measurement system, 12"
EFEM
Does not include HDD
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer 100 AIM+是一款先进的掩模和晶圆检测设备。它将高级图像分析和计量能力与优化的计量平台和ACIS自动检查员系统(AIS)相结合。设计用于检测分辨率高达一亿像素的高精度感光器件掩模和刚性光掩模图像。KLA Archer 100 AIM+针对快速吞吐量进行了优化,能够每小时检查多达10个晶圆。TENCOR Archer 100 AIM+先进的影像分析能力允许检查多种影像方法。它可以容纳三维(3D)、二维(2D)、亚微米特征检查。此外,Archer 100 AIM+还配备了"智能扫描"功能,使设备能够在感兴趣的领域(如缺陷)进行磨练,以最大程度地减少数据收集和处理时间。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+的AIS特性能够检测各种各样的光掩模形状和尺寸。它旨在检测颗粒污染、缺陷、划痕和蚀刻等。此外,它还可以识别晶片上的各种缺陷,而不会影响晶片的性能。KLA Archer 100 AIM+还包括一个高级计量平台。该平台使用户能够测量关键光掩模结构的形状和大小,以进行过程监控。计量平台灵活灵活,可根据客户的个人要求量身定制。它还具有自动化的数据收集和数据分析功能。TENCOR Archer 100 AIM+也是考虑到工人安全的设计。包括闭环人机接口(HMI),它允许控制机器中的所有功能。HMI设计有几种观点和布局,以满足操作员的人体工程学需求。此外,还提供一系列警报,以确保人员安全。总体而言,Archer 100 AIM+是一种先进的掩模和晶圆检测工具,经过优化,可实现快速吞吐量,具有先进的图像分析和计量能力。其人体工程学设计符合人员安全,确保数据收集和分析的准确性。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+是检查高精度光敏器件掩模和刚性光掩模图像的理想选择。
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