二手 KLA / TENCOR Archer 100 #9221534 待售

KLA/TENCOR Archer 100是一款先进的掩模和晶圆检测设备，旨在保证半导体的质量。该系统采用先进的计量技术，以高达24线性视场（LFOV）每秒的速度，在全视场范围内以高达0.05 µm的分辨率高精度检测掩模和晶片上的缺陷。该装置采用两种独特的技术组合，可视化和分析晶片表面：获得专利的高光谱成像和光谱衍射成像。光谱衍射成像能够以0.05 µm的分辨率检测晶体缺陷，因为它利用了不同晶体结构选择性吸收的电子衍射模式的差异。另一方面，高光谱成像利用可见光来检测和表征缺陷。成像技术的结合提高了缺陷识别的有效性，提供了缺陷表征的准确性和可重复性。KLA Archer 100的设计经过优化，达到最大效率和灵活性，具有高对比度LED照明站和直观软件等先进功能。基于LED的照明站最大限度地提高了整个显微镜视野中照明的均匀性，同时提供了传统显微镜中看不到的特征的更大对比度。此外，KLA直观的软件平台使机器非常人性化，能够适应不同的应用，包括晶圆边缘映射、缺陷分配、粒子计数分析和Bokeh分析。该工具还提供了广泛的配件和选项，进一步扩大了其可用性范围。这些选项包括各种高分辨率目标和照明解决方桉、各种过滤器、串联参考标记和自动对齐工具。总体而言，TENCOR Archer 100是有效的掩模和晶圆检验的绝佳工具，为研究实验室和生产线提供了高速和准确性。它结合了先进的成像和分析技术，加上创新的设计特点，使其成为半导体晶片质量保证的杰出选择。