二手 KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9176636 待售

KLA/TENCOR Archer 200 AIM掩模及晶圆检验设备是一种精密光刻工具，用于检测200 mm制造的半导体产品中的缺陷。该工具利用亮场成像、暗场成像和散射光成像，准确检测图样特征的光学透射和反射率变化。该系统能够捕获每个特征的高分辨率图像,以分析模式或开放/短裤等缺陷。这样可以全面检查平纹特征,并有助于确保生产高质量的最终产品。KLA Archer 200 AIM单元具有两个自动化子系统：自动掩码检查子系统和自动晶圆检查子系统。这两个系统协同工作，提供了光刻工艺的全貌。AMI分析晶片曝光前光掩模上的图样和任何缺陷。这样可以及早发现光刻过程中可能出现的任何潜在问题。AWI在晶片暴露和开发后对其进行检查。这样可以更详细地检查模式，并测量预期模式与实际结果之间的任何可能的差异。TENCOR Archer 200 AIM机具有许多优点，有助于降低半导体生产成本。首先,该工具可以一次检查口罩和晶片,从而提高生产吞吐量。第二，资产提供半自动缺陷审查，因此无需手动检查和识别每一个缺陷。此外,该模型还提供多种成像和分析功能,包括测量阵列轮廓和线宽的能力,以及检测裂纹和其他缺陷的能力。最后,设备能够以每小时140个晶片的速度检查晶片。总之，Archer 200 AIM掩模晶片检测系统是检测和分析光刻工艺缺陷的有力工具。该单元提供卓越的成像功能和各种有用的自动化分析功能。此外,它的高吞吐量允许更快的生产和降低成本,使其成为200 mm半导体生产的理想选择。