二手 KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9245432 待售
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KLA/TENCOR Archer 200 AIM是一款专用的面罩和晶圆检测设备,设计用于支持先进的0.25um和0.15um功能尺寸。它能够有效地检查细线特征,并且能够进行高度准确的测量和报告。该系统围绕一系列光学检查技术建立,其核心是一个快速、自动化的数据收集和分析单元。KLA Archer 200 AIM是一款模块化机器,可选择多个检查模块,使客户能够根据自己的特定需求配置最佳解决方桉。该工具能够检测各种缺陷,包括污染颗粒、总临界尺寸误差、针孔、图样缺陷、缺失层、颗粒、抗出血等。资产由两个主要组成部分组成;图像捕获站(ICS)和测量模型。ICS是一种光学对齐的检查工具,具有自动晶圆对齐、扫描和图像捕获功能。它旨在让操作员能够快速准确地扫描晶片,最终目标是获得一个"干净"的图像,没有可见的子分辨率缺陷。该设备还配备了一个功能强大的综合检查软件,旨在迅速识别和提醒操作员注意任何违规行为或潜在问题。测量系统是一个可编程的单元,有一套强大的综合软件工具,旨在检查和分析数据。测量机带有一个算法和规则库,旨在识别和量化潜在缺陷,并提供详细报告。该工具旨在提供最佳效率;确保不浪费时间重复手动审查或冗余测量。TENCOR Archer 200 AIM是生产级应用的高速资产。通过将可靠的数据分析与快速、自动化的图像捕获和分析相结合,该模型为掩码、晶圆和BR检测提供了全面的解决方桉。此外,它是一种可扩展的设备,允许客户配置系统以满足高峰需求,而不会影响质量。
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