二手 KLA / TENCOR Archer 200 #293761848 待售

KLA / TENCOR Archer 200
ID: 293761848
优质的: 2010
Overlay inspection system 2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 200是一款精密的掩模和晶圆检测设备,旨在满足半导体制造工艺的严格要求。作为集成电路生产中的关键工具,KLA Archer 200通过检测和分析制造过程中各个阶段的缺陷,在确保优质终端产品方面发挥着至关重要的作用。TENCOR Archer 200系统的核心是先进的成像技术,使它能够以无与伦比的精度和速度扫描和检查掩模和晶片。该装置采用明场和暗场成像技术相结合,以捕捉被检查样品表面的高分辨率图像。然后使用强大的算法对这些图像进行处理和分析,以识别和分类诸如粒子、划痕和模式偏差等缺陷。Archer 200的主要功能之一是能够执行基于模式和模具到模具的检查,在缺陷检测方面提供灵活性,并确保对整个样本进行全面的覆盖。基于模式的检查涉及将样品与参考模式进行比较以识别任何偏差或异常,而模模检查则比较同一晶片上的多个模具以检测可能影响整个生产批次的系统缺陷。除了缺陷检测外,KLA/TENCOR Archer 200还配备了先进的计量能力,使其能够以亚纳米精度测量临界尺寸和覆盖参数。通过提供线宽、间距和对准等关键参数的定量数据,机器帮助半导体制造商保持严格的过程控制,并确保其设备的统一性和完整性。KLA Archer 200设计用于处理各种样本量和类型,包括口罩、标线和直径可达300 mm的晶片。该工具具有自动化处理功能,可实现样品的无缝装卸,降低污染风险并最大限度地减少操作员干预。TENCOR Archer 200吞吐量高,误报率低,非常适合速度、精度和可靠性极为重要的大批量制造环境。此外,Archer 200还提供了高级数据管理和分析工具,使用户能够跟踪缺陷趋势、执行根本原因分析以及优化过程参数以提高产量和效率。资产配备了一个方便用户的界面,可实时可视化检查结果,使操作员能够快速有效地作出知情决定。总体而言,KLA/TENCOR Archer 200是一种最先进的掩模和晶圆检测模型,为半导体制造中的缺陷检测和过程控制设定了标准。凭借其先进的成像技术、自动化处理功能和数据分析工具,这些设备使制造商能够实现高产,降低生产成本,并向市场提供最先进的半导体器件。
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