二手 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9232002 待售

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ID: 9232002
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Overlay measurement system, 12" Hard Disk Drive (HDD) 2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一种用于高质量、自动控制光刻工艺步骤的掩模和晶圆检测设备。该系统的重点是提供生产先进半导体器件的顶级工艺。该机组包含多台自动参数设置的激光望远镜、可变模式阵列和单单元格窗口缺陷检查。这使得它能够在各种高级工艺步骤中快速评估晶圆或掩模检查要求。KLA Archer 300 LCM利用双图像技术,允许用户将两个图像并排比较,并拒绝蒙版或晶片脱落。机器的小窗口允许它拒绝即使是最微小的缺陷。该工具的完全自动化功能拒绝用于制造步骤的掩码,从而大大减少了下游错误和缺陷的发生。这样可以降低总体生产成本,更容易及早发现任何缺陷,并确保更好的工艺效果。此外,资产的内置FMEA(故障模式和效果分析)异常值检测功能突出显示潜在问题并节省宝贵的时间。TENCOR Archer 300 LCM旨在集成到现有的生产工作负载和流程步骤中,从而减少了手动干预的需求。此外,该模型还可以与各种掩码支持系统配合使用。这为用户提供了界面和支持系统方面的多功能性,简化了流程管理并提高了数据完整性。设备还配备了易于使用的用户界面,优化了过程控制,简化了过程参数的创建和监控。此外,Archer 300 LCM提供了广泛的报告库,可快速识别和纠正任何流程问题。KLA/TENCOR Archer 300 LCM为先进的光刻工艺和掩模/晶圆检测提供了全面、可靠的封装。该系统先进的激光技术确保了准确的过程控制和可靠的芯片制造,消除了过程中的猜测,使生产可靠的设备变得更加容易。该设备得到KLA着名客户服务和技术支持的支持,为用户提供过程控制和成品设备质量方面的安心。
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