二手 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9234791 待售

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KLA / TENCOR Archer 300 LCM
已售出
ID: 9234791
晶圆大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一种用于薄膜显微设备缺陷处理快速准确检测的面罩和晶圆检测设备。它设计用于检查150毫米(6英寸)和200毫米(8英寸)晶片上的晶体、裂纹和颗粒等关键缺陷。KLA Archer 300 LCM配备了包括高分辨率激光显微镜(LM)和高分辨率检查相机在内的先进光刻系统。LM变焦范围为0.5至4.5mm,使其能够精确识别低至6.25 µm的特征。该检查相机的分辨率为1.5µm,具有16位像素深度,便于区分好坏特征。LM和照相机都采用了先进的缺陷预分析算法,有助于减少操作员识别时间。该单元可以方便地快速准确地获取图像,有助于减少检测周期时间。它还具有确保准确检查的内置校准功能。TENCOR Archer 300 LCM还具有多种图像编辑工具,使操作员能够快速识别和测量可能存在的缺陷。该机配备了功能强大的自动缺陷检测算法,自动识别和分类缺陷类型。这有助于减少人工检查的需要。该工具还以数字方式记录和存储图像,以便于参考。Archer 300 LCM可以连接到KLA知识产权(IP)和自动故障解决软件,提供额外的数据查看功能。该资产还与大多数第三方晶圆检测软件和数据分析平台兼容,允许用户远程查看、分析和报告结果。KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一款可靠、快速、易于使用的面罩和晶圆检测型号,符合并超过行业标准。其高分辨率成像和自动化缺陷检测技术可快速高效地提供彻底、准确的检查,有助于减少缺陷和质量控制所需的时间和成本。
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