二手 KLA / TENCOR Archer 300 #293760734 待售

KLA/TENCOR Archer 300是一种掩模和晶圆检测设备，设计用于对先进半导体器件的光刻工艺性能进行精确分析。该系统提供全面的2D或3D成像功能,以及增强的成像功能,以检测边缘位置变化、子分辨率特征和关键材料-胶片交互。KLA Archer 300单元是一个硬件平台，可以结合高速激光图样成像、自动光学检查、掩模检查和胶片检查，分析集成电路。TENCOR Archer 300利用AccuMetrix™和MultiRes™技术,提供先进的边缘和验证技术,将高分辨率图像与AccuMetric模式匹配软件相结合,轻松检测复杂模式中的缺陷。凭借增强的聚焦深度和获得专利的成像技术,Archer 300能够比传统的可视化系统更准确、更快地检测和识别缺陷。这台最先进的机器提高了临界尺寸测量能力，优化了工艺控制，实现了优越的产量控制。KLA/TENCOR Archer 300具有像素分辨率高达20nm、高度分辨率高达10nm的3D图像容量,并在一天内扫描多达178个晶圆,从而提高了样品吞吐量。KLA Archer 300还能够同时支持多达128个晶圆，提供高速数据吞吐量。TENCOR Archer 300还配备了包括MultiColor™技术在内的先进制图和胶片检测技术，同时检测多个关键计量特征。它还包括绝对Overlay™工具,用于测量迭加性能并演示多层迭加性能的一致性。此外,该工具还具有集成的微掩码检查功能,可自动分析掩模特征以消除错误或缺陷。Archer 300的高级资产设计还包括功能强大的数据采集、分析和具有报告功能的通信软件包，使用户能够控制、分析和验证流程参数。全面的分析、报告和消息传递功能使用户有信心主动干预以提高流程性能。KLA/TENCOR Archer 300是一种先进、可靠、高性能的模型,可最大限度地提高准确性、吞吐量和数据分析,帮助用户实现其光刻工艺控制目标。这种一流的掩模和晶圆检测解决方桉使用户能够实现最大的工艺稳定性和设备制造产量。