二手 KLA / TENCOR Archer 300 #293800548 待售

KLA / TENCOR Archer 300
ID: 293800548
晶圆大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
KLA/TENCOR Archer 300是一款先进的掩模和晶片检测设备,旨在优化光掩模、晶片和标线质量控制。它配备了最新的成像技术,并提供全光检查,以高精度、高速度、高重复性的方式识别和分析光掩模、光刻晶片和标线上的缺陷。该系统提供了快速、准确的索引和检查整个光掩模或晶片没有接触-允许立即反馈识别和分析缺陷。此外,用户可以调整检查设置,甚至进一步优化检查过程的准确性和速度。KLA Archer 300具有4百万像素图像传感器和高精度XY倾斜级,可提供高分辨率图像,准确识别缺陷,包括小颗粒、薄残留物和其他通常在10纳米以下发现的异常。设备可以实时检查整个掩模或晶片,捕获覆盖最宽范围的信息。此外,TENCOR Archer 300允许用户为特定类型的缺陷设置阈值,这些阈值可用于后续的重新检查。该机器还通过智能缺陷识别提供基于规则的晶片光刻自动修复。维修过程在几分钟而不是几小时内完成,导致生产吞吐量提高,产量提高。使用Archer 300,用户可以轻松查看结果,包括缺陷列表、掩码打印图像、特征尺寸以及其他测量数据,以进行准确分析和评估。总体而言,KLA/TENCOR Archer 300是检查和测量光掩模和晶片的理想工具,可提供准确、可重复和可靠的结果,以确保最佳质量控制。
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