二手 KLA / TENCOR Archer 300 #293821842 待售

KLA/TENCOR Archer 300是一种掩模和晶圆检查设备,旨在为先进半导体制造过程中的关键控制点（CCP）提供自动化、高通量、精确的光学检查。KLA Archer 300是一个模块化系统，旨在提供高分辨率、自动检测光掩码、标线和IC晶片中的缺陷。它将先进的光学和成像系统与复杂的软件算法相结合，以识别和报告缺陷。该单元的核心是一个KLA专有的"Surfscan"轮廓和缺陷计量，它使用两个不同的成像通道来捕获每个掩模和晶圆上的全方位地形特征。机器可以检测到小到0.2微米大小的缺陷，提醒操作员，让他们立即采取纠正措施，避免昂贵的流程流动。TENCOR Archer 300还包括缺陷分类功能和用于快速准确缺陷分析的预编程分析算法库。这使工程师能够快速分析大量数据并发现潜在问题或过程控制问题。Archer 300还支持自动查看工具突出显示的缺陷,并使用高级图像分析技术进行详细分析。除了缺陷识别外,KLA/TENCOR Archer 300还提供高级掩码设计审查功能,包括基于规则的设计验证资产和审计质量保证平台。KLA Archer 300的软件还促进了探测器和标线的自动对齐,并促进了SEM与其数据库之间的通信。总体而言,TENCOR Archer 300是一种可靠可靠的掩模和晶圆检测模型,旨在为先进半导体制造过程中的关键控制点提供自动化、高通量、精确的光学检测。它结合了先进的光学和成像系统以及复杂的软件算法和自动审查功能,为缺陷检测和分析提供了全面的解决方桉。