二手 KLA / TENCOR Archer 300 #9258489 待售

KLA/TENCOR Archer 300是一种全自动的掩模和晶圆检测设备。它旨在以极高的精度检测蒙版和晶片印刷和蚀刻表面的缺陷。它具有先进的缺陷检测算法和高分辨率成像系统，能够充分利用设备在纳米范围内的灵敏度。KLA Archer 300包括光学检测站、晶圆检测站和扫描站。光学检测站由高分辨率的DUV显微镜和照相机组成。该机采用多种照明角度和一套先进算法检测分析缺陷。对于晶圆检测，该工具配备了高速、高灵敏度、高分辨率的晶圆成像资产。扫描站用于快速扫描多个掩码或晶片并快速检测缺陷。TENCOR Archer 300支持多种面罩和晶片类型以及包括EUV、E-beam、248nm DUV、193nm DUV和157nm DUV在内的先进缺陷标准。该模型能够同时检查掩模和晶片，还可以生成快速的周期中期缺陷分析报告。为了获得最高精度,Archer 300采用了先进的容错成像技术。它还支持多种类型的缺陷算法，以满足不同客户的需求。该设备与任何类型的计量系统配合使用，也可适应其他类型的检验系统。最后，KLA/TENCOR Archer 300由于拥有成本低而极具经济性。它具有可持续长达5年的持久LED光源,低功耗确保可轻松复制节能。此外,该设备只需要最低限度的维护,这意味着它是为经受时间考验而构建的。