二手 KLA / TENCOR Archer 300 #9301024 待售

ID: 9301024
Overlay measurement system, 12" With triple FOUP (3) Load ports frontend GEM / SECS and HSMS E84 Enabled for OHT and AGV / RGV (3) PIO Devices for OHT E87 (Based on E39) E40 / E94 / E90 CMP Measurement option (3) Advantag Radio Frequency (RF) Carrier ID readers Signal tower (57mm): Red Yellow Green Blue Operation manual on CD S2 and CE Marked Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300是一种掩模和晶圆检测设备,设计用于在半导体器件上提供高精度的监控和缺陷检测。它为生产线的最佳性能量身定制,为批量生产提供高吞吐量和可靠的可靠性。KLA Archer 300的核心是其强大的成像技术。该系统采用了先进的基于脉冲训练的光学技术,提供了17 µm像素的成就,使得亚15 µm缺陷检测成为可能,使其适合最苛刻的应用。与竞争对手的系统相比,3600映像体系结构的分辨率提高了4倍。TENCOR Archer 300具有多角度双镜面光头,比单阵列系统提供更高的分辨率和更好的表面覆盖。该单元还具有独特的多焦距特性,可通过自动聚焦最近的特性来优化检测可靠性。Archer 300还具有高清可视化功能。这包括一个可视化子系统,确保高对比度缺陷的准确解释和注释。该计算机支持高性能便携式显示器和专用的远程交互式可视化工作站。此外,KLA/TENCOR Archer 300支持使用KLA最新算法的标准和自动晶圆映射。这样可以确保快速高效的过程控制,并能够快速调整配方设置。该工具还支持脱机过程监视,从而能够在不交付产品的情况下进行连续过程监视。KLA Archer 300是一款坚固可靠的生产解决方桉,可持久使用。该资产通过双电极和双级标线模型提供冗余,从而实现快速故障恢复并提高设备可用性和性能。该系统还提供主动监控和维护,最大限度地提高设备正常运行时间和效率。最后,TENCOR Archer 300掩模和晶圆检测机提供了卓越的图像质量、高分辨率成像和精确的缺陷检测。该工具还支持自动晶圆映射、脱机过程监控和可靠冗余。是半导体器件高精度监测和缺陷检测的理想解决方桉。
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