二手 KLA / TENCOR Archer 300 #9311042 待售
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ID: 9311042
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Overlay measurement system, 12"
Triple FOUP
Frontend: (3) Loadports
GEM / SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT and AGV / RGV
(3) PIO Devices for OHT
E87 Based on E39
E40 / E94 / E90
CMP Measurement option
Adaptive noise reduction algorithm
Variable illumination spectrum
Color filter
(3) ADVANTAG Radio Frequency (RF) carrier ID Readers
Geometric model finder
Log recipe change file
S2 and CE Compliant
Signal tower
Operation manual on CD
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2011 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300是面罩和晶片行业的领先检测设备,具有高分辨率成像系统和先进的微处理器。它旨在满足当今快速移动的半导体制造环境的要求，为检测和校正晶圆和掩模图样光刻中的缺陷提供可靠的解决方桉。该单元采用双X射线摄像机和自动算法，使操作员能够快速准确地检测和分析模式缺陷。机器的"自动查找和表征"（AFaC）功能扫描被检查的晶片或掩码是否有缺陷,然后将生成的图像传达给用户。该工具还具有直观的用户界面,以实现最佳的可用性。该资产支持多种晶圆和掩码大小,并且能够检测各种缺陷。它可以检查直径不超过8英寸或20厘米的晶片和尺寸不超过1.2米的掩模。该模型采用了先进的4K成像和自动检测算法，从而能够更快地检测和分析缺陷。为了保证最佳性能，设备设计得非常坚固可靠。它采用模块化设计,便于安装、维护和故障排除。具有可靠的诊断功能和先进的热补偿技术，保证了缺陷检测和测量的稳定性。此外,用户可以自定义检查参数以确保其应用程序的最佳性能。KLA Archer 300是检查不同层和过程的掩模和晶圆图样光刻的理想选择。它是确保生产质量的可靠工具,能够高效、经济高效地满足客户的需求。该系统具有业界领先的性能、可靠性和特点,是半导体制造商的绝佳选择。
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