二手 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831 待售

KLA/TENCOR Archer 500 AIM是一款功能强大但成本效益高的掩模和晶圆检测设备,专为高灵敏度缺陷检测和准确缺陷特性鉴定而设计。该系统配备了先进的光学、紫外线和电子束成像技术，为掩模和晶片提供了详细的数据和全面的分析，以全面了解任何可能的缺陷。该设备有两种硬件配置-Archer 500和Archer 500G。Archer 500支持单晶片检查,而Archer 500G支持单晶片检查和直径不超过12英寸的基板,以进行最完整的分析。这样就可以以最高的精度对各种基板进行检查。Archer 500和500G均具有强大的4倍光学和5倍紫外线成像功能。强大的4倍光学放大率使机器能够检测到尺寸降低到0.25 µm或更大的缺陷。此外,高清成像还可确保对每个缺陷的确切位置和特征进行彻底分析。5倍紫外线成像能够进行更精细的检查,缺陷尺寸可精确清晰地检测到0.2µm。为了进行更高级的分析和缺陷表征，Archer 500和500G还具有先进的电子束成像功能。这样可以进行光束电路检查和栅极区域分析，以确保对任何潜在缺陷进行最全面的检查。此外，该工具还配备了高分辨率的能量色散光谱资产，可以对任何发现的缺陷进行精确的元素分析。最后,Archer 500和500G受益于KLA专有的AccuSc装备和分析软件,它提供了与模型的无缝集成,以及一整套用于数据分析、可管理性和报告的功能。这样可以确保设备能够准确、全面地了解存在的任何缺陷或污染。总体而言,Archer 500和500G提供了一个先进但经济高效的掩模和晶圆检查系统,它结合了强大的光学、紫外线和电子束成像,并具有全面的分析功能和AccuSc软件装备。因此,该设备能够以最高的精度和精度提供完整的缺陷检测和特性鉴定。