二手 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9354401 待售

KLA Archer 500 Automated Inspection Module（AIM）是一种高速、掩模和晶圆检测设备，旨在提高半导体制造工艺的产量。它是TENCOR工艺控制解决方桉的核心要素，提供模具级和缺陷检测，使制造商能够满足严格的质量要求。KLA/TENCOR Archer 500 AIM拥有一个获得专利的双光子吸收器（DPA）探测器系统，该系统结合了宽带、倍频二极管激光器和紫外线传感器。这种组合对尺寸小至几纳米的模具级缺陷提供了一流的灵敏度。KLA Archer 500 AIM还配备了高分辨率"绿色"激光，用于测量特征和检查打印中的周期性图桉变化。该设备针对自动化制造使用进行了优化,通过快速处理高达每小时360个晶圆,为大批量生产提供支持。大的18英寸晶片支持允许标准晶片和超细晶片的最佳吞吐量。TENCOR Archer 500 AIM凭借其高度可靠的光学平台,在低停机时间下提供卓越的检查性能。其基于图像的高精度聚焦技术为队列中多达150个晶圆保持恒定的激光聚焦。为了确保掩模和晶片的完全覆盖，机器的启发式和单元格算法计算出检查区域的最佳方法。Archer 500 AIM还提供高级数据分析和报告功能,允许用户生成报告,深入了解晶圆和模具级缺陷。它具有Mapping and Defect Analysis软件,用于显示缺陷的确切位置、大小、类型和阵列频率。这些信息对于帮助制造商识别和解决制造过程中的故障至关重要。KLA/TENCOR Archer 500 AIM独特的特性组合和快速的加工时间，使其成为寻求最大产量并确保最高质量标准的半导体制造企业的理想解决方桉。