二手 KLA / TENCOR Archer 500 LCMu #293668510 待售

KLA/TENCOR Archer 500 LCM是口罩和晶圆检验行业的领先厂商。它是一个专门设计用于检测生产过程关键阶段的屈服冲击缺陷的光刻模块。该设备旨在提供综合检查解决方桉,将最高级别的可靠性、准确性和效率相结合,以满足最苛刻的应用。该系统的核心是专利电弧检测技术，它能够检测分辨率小于0.4 μ m的缺陷。Archer 500的高级光学单元允许机器同时检查面罩和晶片上的表面缺陷、颗粒、局部污渍和其他特征。此外,该工具具有卓越的排便和耐受性指数（DTI）能力,可让客户在处理过程的早期准确地对影响产量的缺陷进行分类和检测。Archer 500由光学柱模块（OCM）和图像分析模块（IAM）两个模块支持。OCM负责捕获样本的图像,而IAM用于处理图像并提供详细的分析结果。通过组合这些模块，Archer 500可以用于涵盖广泛的检查场景。资产的先进技术使其能够处理掩模和晶圆检测要求苛刻的高速、高分辨率、高通量要求。该型号还设计方便地集成到现有的生产设备中。它具有广泛的用户友好功能,包括远程可控性、数据交换功能和高级诊断工具。除了物理检查外,Archer 500还提供多种诊断功能,用于分析工艺配方的性能。它可以通过将检验结果与工艺数据相结合来提供对结果的详细分析，允许用户快速识别和消除潜在缺陷，以最大限度地提高效率和产量。总体而言，KLA Archer 500 LCM是一种用于掩模和晶圆检查的强大工具。它提供了一个高级功能集,可提供高速、高精度的缺陷检测功能,允许用户优化产量、防止成本高昂的报废,并显着降低与手动检查相关的人工成本。