二手 KLA / TENCOR Archer 500 #293610056 待售

KLA/TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection设备为操作员在半导体应用中的检测需求提供高性能解决方桉。KLA Archer 500是一种高通量、高横向分辨率的系统，旨在满足半导体行业的严格标准。该装置能够在分辨率高达5.5微米的情况下检查蚀刻后、单装置口罩，以及在1.75微米的情况下检查双装置口罩和不透明口罩。它具有卓越的机器吞吐量，提供集成的图像采集和分析时间，每个模具只有10秒。这是通过强大的多核体系结构、自动扫描模式和高级光学工具的组合实现的。在资产的核心位置,专有的opto-mechanical设计以0.4微米的分辨率在高达1,400 fps的全视野中推动模型。采用精密的0.4微米步进电机实现4象限标线对准。该设备采用了具有高精度Z轴机构的X-Y平移平台和先进的数字x-y-z坐标扫描系统。该单元配备了高速检流计为基础的激光束和激光探测光学器件，使其能够分析比较一个给定装置的多达109张图表的特性，即使在最复杂的结构中也能绘制出缺陷。该机集成了创新的自动对焦助手,可提供快速自动对焦和收敛光束轮廓。Auto-Focus Assistant捕获整个设备字段中的数据点,使操作员能够动态调整焦点配置文件,以确保即使是最小的曲面步骤也能准确检测到。此外,集成的软件套件还提供了增强的用户体验。该套件包括直观、易于导航的图形用户界面、灵活的掩码对齐和分段算法以及复杂的错误处理,旨在优化工具性能。TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection Asset是一种功能强大且可靠的半导体制造商和研究实验室工具。它结合了高性能、易于使用的软件和坚固的光学设计,使其成为任何半导体检测应用的宝贵且通用的资产。