二手 KLA / TENCOR Archer 500 #293799368 待售
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KLA/TENCOR Archer 500是一款最先进的掩模和晶圆检测设备,它将业界领先的自动化与卓越的分辨率成像相结合。该系统采用高分辨率检测和机器人技术,用于快速检测和分析先进半导体材料的缺陷。除了自动加载和卸载晶片外,该单元还包括一台完全集成的高8k像素分辨率成像机和一台用于精确定位缺陷和成像的双轴龙门工具。资产的极高精度和分辨率使得即使是最小的缺陷也能得到可靠的检测。例如,可以识别半微米以下的缺陷,也可以识别光掩模模式的变化。它能够自动分类和分析缺陷,以确保过程合规性。可以检测和比较各种大小的缺陷和模式。自动化的机器人和成像模型允许快速和高效的晶圆检查。其先进的光学和成像引擎融合了迭加功能、高动态范围成像以及广泛的对比度和亮度选项。这种组合确保了快速的检查时间和高精度。该设备具有最大的灵活性和可扩展性,非常适合任何尺寸的生产环境。它可以被整合到广泛的生产线中,并且可以处理多种类型的基材--从面膜和晶片到设备和基材。此外,先进的视觉技术允许为每个基板定制检查设置。KLA Archer 500快速可靠,允许更短的周期时间和更快的上市时间。此设置与用于缺陷审查、图像分析和数据分析等应用程序的强大软件套件相结合。最后,该系统有一套服务和支持作为后盾。这些包括安装和维护、软件开发和升级、培训和技术支持。总体而言,TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection Unit的设计旨在以最大的速度和效率提供严格、准确和精确的半导体晶片和mask inspection。它通过缺陷检测、缺陷分类和缺陷分析,将卓越的分辨率成像与可靠的视觉工具集和自动化的机器人技术结合在一起,以优化生产。
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