二手 KLA / TENCOR Archer 5300 #9294782 待售

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ID: 9294782
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer 5300是一款高性能的掩模和晶圆检测设备。其设计用于检测半导体晶片的关键特性以进行工艺控制。该系统由先进的成像光学、高分辨率数码相机和先进的图像处理算法组成。KLA Archer 5300具有明场、暗场、频闪和多层明场(MLB)成像系统。光场成像单元能够提供最高分辨率来检测非常小的缺陷。其他成像系统可用于检测不同类型的缺陷,如表面缺陷、大空隙、边缘清晰度差、暗粒等。它还具有高分辨率CCD摄像头,使其能够以最小的噪音捕获高细节的图像。该机配备了先进的图像处理算法,能够检测和分析来自输入图像的缺陷。算法可以被编程来识别不同类型的缺陷,用户可以调整机器的灵敏度和准确性。该工具具有模块化设计,这意味着它很容易用新模块升级,例如光学元件和处理算法。这将使用户控制确保资产与最新技术保持同步。TENCOR Archer 5300还配备了晶圆标记功能,可用于跟踪和识别缺陷。一种模型内部验证工具可以验证和测试各种设备参数,以确保结果的准确性和可重复性。最后,系统提供用户友好的GUI、培训材料和技术支持。这可以让用户快速了解单元的不同特性和功能。总体而言,Archer 5300是一款出色的面罩和晶圆检测机。其先进的成像光学和图像处理算法结合了用户友好的GUI,使其成为过程控制的理想选择。此外,它的模块化设计允许用户通过最新的改进轻松升级工具。
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