二手 KLA / TENCOR Archer 5300 #9295113 待售

KLA/TENCOR Archer 5300是半导体工业中使用的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统利用先进的数字成像技术，将蒙版和晶片的图像从工艺室快速变形为数字形式。这使设备能够准确搜索可能导致劣质产品的缺陷或不规则性。KLA Archer 5300有一系列用于晶圆缺陷检测的工具，从模模像素映射到局部缺陷隔离。对于掩模检查，机器提供三维成像能力，用于彻底的缺陷检测。该工具具有增强的扫描声学显微镜（SAM）模块,旨在检测小的不可见凹坑、划痕或其他表面缺陷。高级污染检测（ACD）模块检测晶片正面和背面是否存在颗粒。资产还包括用于全自动纠错和晶圆级缺陷计数的先进Auto Sense技术。它还有一个功能强大的基于软件的显微镜界面，能够处理宏和微摄影图像。TENCOR Archer 5300提供了易于使用的图形用户界面,允许操作员访问模型的所有功能和设置。设备的每个组成部分都可通过集成的远程成像系统轻松观察。该设备高度可配置,允许专业定制机器的所有功能,包括速度、灵敏度、缺陷类型、水平和垂直视场以及各种其他参数。Archer 5300配备了模块化晶片级，便于样品装卸以及自动取样对准。除了晶片级之外，该工具还包括一个容纳各种尺寸晶片盒的盒式适配器和一个前端机器人，非常适合在线或离线检查。总之，KLA/TENCOR Archer 5300是一种高度先进的掩模和晶圆检验资产。利用其用于晶片缺陷检测、先进的自动感应和模块化晶片级的一系列工具,它能够快速、准确地检测任何可能导致劣质产品的不规则性。