二手 KLA / TENCOR Archer A500 AIM #293592354 待售

KLA/TENCOR Archer A500 AIM是一种多光谱成像设备，设计用于自动检查先进的集成电路晶片和掩模。这种自动检查系统利用三色多频CCD摄像机来捕捉掩模或晶片正面和背面的高分辨率图像。它将先进的图像处理算法与全剂量X射线检查相结合，识别出污染、颗粒缺陷、缺失缺陷等各种缺陷。Archer A500配备了一个独立的自动缺陷审查单元,配有19英寸触摸屏界面。它具有900 x 900像素的图像捕获能力，在检测粒子、高密度区域的粒子和图样缺陷时优化了机器的性能。高速运动平台允许在短短几分钟内完成晶圆或掩模覆盖。Archer A500配备了先进的多时态模式识别模块,使其能够准确区分粒子、触点、线条和其他特征等特征,而不是它们各自的形状和大小。该模块具有优异的10纳米图像分辨率能力，提高了缺陷检测性能。该工具还包括一个自动缺陷分类资产，利用累积缺陷度量准确识别数据驱动的分类缺陷。该模型可以检测极性标记缺失和开放/短路由接触等缺陷。Archer A500的自动缺陷审查和测试设备提供了灵活性、易于设置和快速的周期时间。专利图像处理算法捕获缺陷的完整预览,具有最大吞吐量和低拒绝率。与传统的手动检查系统相比,Archer A500有几个独特的优点。它提供了改进的过程控制、改进的周期时间和改进的缺陷控制。此外,它还改进了对缺陷类型和屈服控制的了解,使其成为先进的IC晶片和掩模检测的理想解决方桉。