二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9016583 待售
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已售出
ID: 9016583
晶圆大小: 12"
Advanced optical overlay metrology system, 12"
Install Type: Stand-Alone
Brooks Pre-Aligner
Mini-Environment w/HEPA Filter
MPX Focus/Exposure Option (PN: 0047028-000)
300mm Reflective Host Chuck (PN: 0022143-002)
Coherence Probe Interface Microscope
Measures BIB & AIM Grating Targets
Y2K Ready
Automatic Arrayed Target Measurement SW
Cassette Interface:
(2) Asyst IsoPort 300mm Load-ports
PN: 9700-9129-01 rev J
Robot Handler: Brooks
3-Axis, Single Arm, Single Blade
Software:
Win NT OS
Archer AIM Starter Kit w/ RDM Server Upgrade
User Interface:
Monitor: Viewsonic VG181 LCD 19”
3.5” (1.44MB) Floppy Drive
Mitsubishi P91D Thermal Printer
Yamaha CD-R/W Drive
SSD Back-up Drive (DAT)
Keyboard/Mouse/Trackball
Currently crated and stored in a warehouse.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一款最先进的面膜晶圆检测设备,旨在满足微电子制造商的需求。该系统能够提供高分辨率成像,用于检测和分析掩模和晶片上的各种缺陷。KLA Archer AIM MPX旨在确保高产量优化和提供准确的缺陷图像。它将紧凑的设计与先进的高速成像体系结构相结合,从而提高了检测吞吐量。设备的核心是全彩、高分辨率成像仪(HRI)和高级光学器件,可实现更高分辨率的图像和更快的分析。TENCOR ARCHER AIM MPX能够检测和分析粒子缺陷,以及制造局部电压变化、桥接液滴和不支持特征等缺陷。它还能够放大掩模或晶片的高压区域,从而能够检测潜在的灾难性缺陷。该机具有较高的对比度灵敏度,可用于增强缺陷检测和分析.Archer AIM MPX还包括一个热控制和稳定工具(T-C&S),在晶圆检查期间保持精确、可重复的温度,以增强缺陷检测性能。此资产允许从批量到批量的产品变化最小,并为低对比度和高灵敏度缺陷类型提供了更好的检测精度。KLA/TENCOR Archer AIM MPX提供了一系列可供用户选择的成像模式,使其具有高度的通用性,并使用户能够根据自己的特定需求定制模型。成像模式包括低轮廓扫描、低对比度SLF、高分辨率SLF和低对比度边缘增强。KLA Archer AIM MPX还包括基于软件的AutoSensitization,用于自动亮度和对比度选择,简化了用户的设置过程,减少了用户必须与设备交互的次数。此外,该系统能够生成数据导出格式,如ASCII、BMP、TIFF、PDF和JPEG,以便快速、方便地报告。作为高端系统,TENCOR Archer AIM MPX能够快速准确地生成缺陷图像,使制造商能够优化产量、降低成本和提高产品质量。该设备非常适合各种生产环境,能够进行高速成像和可靠的缺陷检测。
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