二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9239066 待售

KLA / TENCOR Archer AIM MPX
ID: 9239066
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一种用于半导体制造过程中高级计量和产量管理的掩模和晶圆检测系统。它利用基于图像的技术来确定晶圆表面关键特征测量的质量,使制造商能够更快、更准确地创建更高的性能、更可靠的晶圆设备。KLA Archer AIM MPX的核心是其专有的多维可视化技术(MDVT),它使系统能够检测和识别在传统成像系统中可能看不到的最小缺陷。TENCOR Archer AIM MPX结合了高端图像矢量处理器、先进的照明系统和获得专利的光学元件,能够以高分辨率每秒捕获多达46张图像。它利用多个独立的成像通道,使其能够在单个晶片或多个晶片上同时进行快速检查和扫描。这种平行性使Archer AIM MPX能够在几秒钟内测量和检查整个晶圆曲面上的特征,而无需在图像中引入任何伪影。此外,它的自对接设计可以让晶片容易快速的装卸,让厂商快速优化检验过程。KLA/TENCOR Archer AIM MPX的设计能够满足最高的精度和准确度,能够分析50 nm以下的特征,并以1mil的位置准确度检测缺陷。此外,它还提供了自动缺陷分类和复杂的误报检测功能,使其能够识别真实缺陷,但减少误报。此外,KLA Archer AIM MPX随附的KLA软件套件还提供了功能强大的分析和数据可视化工具,从而为流程优化和产量分析自动化提供了增强的数据分析。因此,TENCOR Archer AIM MPX允许快速的标线和光掩模检查以及晶圆级计量,从而提供了前所未有的生产产量和制造成本节约的洞察力。
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