二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9383055 待售

KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一种掩模和晶片检查设备,能够对光掩模和晶片的关键特征和非关键特征进行自动化的生产就绪检查。该系统采用了诸如Optimode功能、获得专利的4-Dimensional （4D）激光散射测量工作流以及多种模式识别技术等先进技术，以确保所有缺陷都得到可靠识别和可靠测量。Optimode功能可确保精确识别和测量所检查的掩模或晶片上的所有特征。它通过控制激光光斑大小和所要求的扫描次数来工作。激光散射测量模具形状和3D特征的复杂性,从而可以测量平面和复杂表面上的高对比度特征,而无需人工交互。除了Optimode技术外，KLA Archer AIM MPX还配备了多种模式识别技术，以确保准确的检测结果。这包括动态缺陷检测、自动阈值选择和可自动配置的特征模板库。此外,此单元以各种格式（如JPEG、TIFF和PDF）提供检查报告,放大倍数可达500倍。TENCOR ARCHER AIM MPX机器支持多种增长和迭加过程，如High Volume Manufacturing （HVM），使刀具能够精确测量特征到0.1微米的分辨率。此外,该资产在完全黑暗的环境中运行,并保持一致的热特性,从而实现超高精度测量。此外，Archer AIM MPX还提供了广泛的检查模式，包括审查、现场、比较、迭加和低k。审阅模式提供了掩码或晶片的可视表示,而比较模式则将掩码并排比较以计算不符合性。迭加模式对齐多个掩模以进行快速检查，而低k模式则能够测量特征的高度和细线。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一种可靠的掩模和晶圆检测模型,它提供了最佳的特征组合,能够快速准确地检测缺陷,识别潜在的产量损失,并提高制造精度。利用其强大的功能,缩短了检查时间,提高了生产效率。