二手 KLA / TENCOR Archer AIM #293597091 待售

KLA / TENCOR Archer AIM
ID: 293597091
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种前沿掩模和晶圆检测设备,旨在提供卓越的边缘放置精度和缺陷检测。该自动化产品提供了高级功能,用于监视晶片制造过程中的关键过程步骤,并确保晶片计量和缺陷检测的最高产量。KLA Archer AIM通过简化的用户界面和自动检查程序,实现了系统的轻松集成、设置和操作,使制造商能够更好、更快速地解决各种晶圆级的改进和缺陷。TENCOR Archer AIM结合了自动检查、增强和关联技术来识别缺陷和产生异常,使制造商能够快速识别可能产生产量或质量问题的关键过程步骤。此外,该单元先进的数字模式识别和高质量的成像产生的结果具有无与伦比的准确性和可重复性。该机还利用扫描电子显微镜(SEM)检测即使是最小的缺陷,因为它提供高分辨率的图像晶圆与精确定制的照明模式。此外,它还可用于检查所有类型的掩模,包括光掩模和标线,以及具有多层的设备。该工具的模块化设计为用户提供了一系列选项,可根据他们的下游需求定制其资产。一般而言,用户可以期待自动和手动的缩放和偏移调整、精确的模式识别、高度准确的缺陷定位和分类、多种语言和区域/字符识别功能,以及全面的报告生成器。Archer AIM提供了更高的吞吐量检测速度、更大的晶圆级覆盖范围、更好的吞吐量和增强的掩模检测重复性。此模型不仅有助于提高产量,而且还可缩短周期时间,并确保客户减少与掩码校正相关的返工成本。设备的成本效益也得益于其低功耗和模块化设计。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM是一个全面、先进的晶圆计量和缺陷检测系统,旨在减少循环时间,提高产量,保持低返工成本。其精确的成像功能和自动检查功能可帮助确保客户制造出质量最高、效果最好的产品。
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