二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #293603929 待售
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KLA/TENCOR Archer AIM+是一款市场领先的掩模和晶圆检测设备,可帮助半导体制造商提高工艺产量并降低成本。它可以准确检测各种掩模和晶圆测试类型中最微小的缺陷,并使工艺工程师能够快速对影响产量的缺陷做出反应。该系统将创新的光学和成像算法与先进的基于物理的模式识别相结合。KLA Archer AIM+上的相机是一种双轴选择性区域监视器，可以同时从晶圆和掩模组件中精确获取数据。它能够以亚微米分辨率和准确度捕获高达4,000 x 4,000像素的图像。为了进一步增强图像捕获，该单元采用智能参数优化机，在较短的周期内调整光学器件以获得最佳结果。TENCOR Archer AIM+利用先进的模式识别技术，考虑了缺陷形状、大小和间距等变量来表征缺陷。它还使用基于物理的模拟器来精确测量撞击模式检查的光学参数。这些参数包括分辨率、聚焦和照明。此外，该工具还采用高斯滤波器、形态学滤波器和有源轮廓算法等改进缺陷检测的先进图像滤波技术。Archer AIM+针对大批量生产过程进行了优化,并提供了集成的工厂监控。可以对这些数据进行自定义和远程访问,从而对更广泛的缺陷提供卓越的过程控制。此外，资产利用先进的缺陷识别算法提供准确的结果，同时考虑到缺陷随时间变化。KLA/TENCOR Archer AIM+部署在全球一百多个站点,非常适合广泛的掩模制造过程和测试,包括但不限于EUV掩模、光学光掩模、抗蚀剂图像和所有双阵列掩模。总体而言,KLA Archer AIM+通过提供精确、详细、高通量的缺陷检测,帮助半导体制造商在广泛的掩模和晶圆检测需求中提高产量并降低成本。
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