二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #293773659 待售

KLA/TENCOR Archer AIM Plus是一款用于半导体制造过程的先进的掩模和晶圆检测设备。该系统能够识别集成电路的掩模或晶圆制造中的缺陷，包括与平版印刷、计量和平面化有关的缺陷。它是同类设备中唯一能够自动检测和精确测量纳米颗粒和其他非光刻缺陷的设备。KLA Archer AIM Plus是一个自动化的集成单元,由多个子系统组成。其中包括用于识别平版印刷和非平版印刷缺陷的自动光学检测机（AOI）、用于测量小缺陷的高分辨率显微镜以及用于测量线宽偏差等参数的计量工具。此外，该资产还包括一个高级数据分析和可视化工具包，用于分析检查模型获得的图像，以便识别、评估和防止产量限制问题。AIM Plus的设计目的是提供高精度、无损的检查，能够快速检测和测量小至3nm的缺陷，从而提高半导体器件的产量。此外，该设备还能够检测到粒子、均匀性和其他可能不会被发现的非光刻特性。AIM Plus先进的计量能力提供了对关键纳米电子光刻工艺的精确控制，如图样绘制和光刻边缘放置。AIM Plus速度极快且可靠，使它能够在短短25秒内一次通过就评估出一个完整的8英寸晶圆。此外,系统的用户友好界面确保了易于操作的单元,从而减少了操作和维护的时间和成本。凭借强大的计算能力,AIM Plus能够快速安全地传输大量数据,为生产优化程序实时提供了宝贵的见解。总体而言,TENCOR Archer AIM Plus是一种先进而强大的掩模和晶圆检测解决方桉,能够提高半导体制造的产量和降低生产成本。它具有高度通用的高级特性和功能,使其成为质量控制和过程监控的可靠解决方桉。