二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #293821803 待售

KLA / TENCOR Archer AIM+
ID: 293821803
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一款下一代口罩和晶圆检测设备,旨在轻松应对各种复杂的生产挑战。该系统采用高级算法和基于硬件的体系结构,以确保一致、可靠的性能。集成的Web界面允许用户从任何地方有效地管理设备。AIM+采用高分辨率光学和电子显微镜的新型组合,为检测临界掩模和晶圆特征提供了最高水平的精度和可重复性。一种定制设计的光学显微镜用于检测掩模和晶圆表面的微小变化。高倍深场电子显微镜用于精确检测任何微小的不规则或缺陷。一种光电图像融合技术结合了两种成像方式,以确保最佳性能。AIM+的设计采用灵活的体系结构,可根据每个用户的特定生产要求进行定制。机器可以与多个子系统结合,使得可以一次对多个晶圆或掩码进行批量检查。一个集成的机器人加载器和最新的软件算法自动控制检查过程和回忆以前收集的结果进行比较。该工具还具有一套功能强大的分析和工具,可提供有关生产过程状态和质量的关键数据。一套自动化的分析和报告功能使用户能够深入了解流程性能。AIM+为掩模和晶片检查提供了可靠的资产,具有最高的准确性和可重复性。其多种多样的体系结构和强大的分析功能使用户能够自信地管理其生产过程,确保一致的质量和及时的交付。
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