二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #78215 待售
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已售出
ID: 78215
Overlay inspection system, 8"
Install type: Stand-Alone
System Software Version: 3.10.06sp7
Run daily pm test: PZT P high voltage, PZT Z gain, PZT feedback
Halogen light source
Replace halogen lamp
PDA gain X, Y axis
Wafer surface focus and analysis patened
LINNIk camera uniformity, AMS camera uniformity
MPX monitoring photo excursions
CMP coherence option
Check shutter response time
GEM / SECS
Line conditioner, 60Hz
Power requirements: 208 / 230V, 3 phase / 1 phase, 50 / 60Hz
RDM recipe database manager software of measurement recipes
Archer computer CD drive, Klass computer C drive
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是专门为先进的半导体生产环境而设计的掩模和晶圆检测设备。它结合了多种检查方法，如表面和横截面成像、焦点变化显微镜、图桉化晶圆成像，以确保快速准确的缺陷检测。该检测系统提供了对掩模缺陷和设计完整性的实时、坦诚的反馈，改进了工艺决策，减少了产量损失。其先进的光学特性具有很大的景深和完整的视野，有助于识别甚至最微妙的缺陷。该单元还具有高级分辨率功能,包括Airy相位对比度和近场成像。KLA Archer AIM+使用专有软件提供了一系列自动掩码缺陷检测功能，包括缺陷类型的自动分类、缺陷列表的自动分类、缺陷图像的自动聚焦、缺陷图像的自动存档、图像的自动审阅以及自定义掩码流的规则编辑器。它可以指定实验室级光学器件和有缺陷区域的可配置照明以进行准确分析。该机还提供了一套用户友好的检测工具，包括用于从多个方向查看晶片的多站点检测模式、交替频率扫描模式、先进的迭加精度和回归工具，以及用于精确缺陷分析的可调边缘偏移拉普因子。TENCOR Archer AIM+是先进半导体生产的强大工具，允许在几分钟内进行高精度的掩模和晶圆检测。其精确、高度智能的检测能力使其成为任何半导体制造业务的宝贵补充。
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