二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9038074 待售
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ID: 9038074
Overlay inspection system, 12"
Upgraded from a KLA Archer 10-02 Overlay system in Q3 2003:
a. Archer 10 upgrade to Archer AIM: Hardware upgrade to Archer 10XT and software upgrade to Archer AIM.
b. Archer Analyzer v 1.0 client (includes software disk and documentation).
c. Remote Archer Analyzer v 1.0 network client (includes software disk and documentation)
RFID reader and software upgrade in Q4 2005:
a. 0047590-000 E87 CARRIER MANAGEMENT SERVICE
b. 0047593-000 E40/E94 PROCESS JOB MANAGEMENT
c. 0043182-000 KIT,TDK CID,HERMOS ASCII RS232
300MM FOUP upgrade in Q4 2005:
a. (1) 0103388-000 Phoenix 300MM Dual FOUP
b. Preshipment Items:
i. (1) 0070136-000 Chuck assy
ii. (1) 0053800-002 3rcher Wait Station
iii. (1) 750-482031000 FFU High Top Sys.
iv. (1) 0031072-000 FFU Roof Wall Assy
Missing stage and isolation controller
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种掩模和晶圆检测设备，能够实现高精度的自动缺陷检测和表征。它提供卓越的图像采集、非常快的吞吐量以及强大的成像和分析工具。KLA Archer AIM系统旨在解决传统的照片面罩检查以及客户特定的应用,如模模缺陷检查和3D缺陷识别。该单元利用高速线扫描成像架构获取高分辨率图像，用于缺陷检测和缺陷表征。成像引擎拥有22nm的像素大小,提供真正的450mm晶圆覆盖。这种即使是最大的晶片也能精确处理的能力使得TENCOR Archer AIM能够以令人难以置信的高精度识别缺陷。该机配备了功能强大的先进图像识别软件，用于准确、可靠的自动缺陷检测和分类。该软件提供了优越的单冲程边缘检测、模式识别和误判识别。该工具还包含用于高通量晶圆检查的精密分析引擎,可以查看从设计布局到无定形模式的所有内容。Archer AIM资产提供了高级成像和自动化工具的无与伦比的组合,使其非常适合传统的大容量掩码检查以及针对客户的高级应用程序。它使用户能够通过对正常和异常结构的自动检查和表征快速跟踪流程开发。此外,KLA高级软件工具还提供完整的掩码检查性能和功能,包括访问全面的数据库和查看模式、晶圆布局修改、自动特征和模式识别、误报减少和批处理。该模型还提供了与高级显微镜工具的集成,以实现更详细的分析功能。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM设备是一种功能强大且用途广泛的掩模和晶片检查解决方桉,可为传统的掩模检查以及高级客户特定应用提供可靠、准确和可靠的结果。
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