二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9173737 待售

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KLA / TENCOR Archer AIM
已售出
ID: 9173737
Overlay inspection system Specifications: 12" With dual FOUP for dram and NAND Fully automated overlay measurement module: Coherence probe Interference microscope Automated wafer handling Software: Windows XP based SW and User Interface Integrated user interface Includes: 19" LCD Screen 3.5" Floppy drive CD ROM Drive Tape drive back up system (DAT) Video hard copy printer Network: RJ45 (10 Base-T) and BNC and AUI connectors Tool options: Electrical wiring EMO Shield Archer 02S & 03 painted skins CMP Measurement (CPM+ANRA) Signal tower: (4) Lamps 40mm Currently de-installed.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种功能强大的掩模和晶圆检验设备,旨在帮助铸造厂及其客户改进制造工艺。该系统由高功率激光、先进光学器件和精密成像单元组成。这种组合使得机器能够快速准确地检测和识别缺陷,对于半导体掩模和晶圆检测、LCD/CNT掩模检测、MEMS器件检测等多种应用都是无价的。高功率激光器是工具的第一个组件,用来产生强烈的光束。光束经过微调,使其对准晶片或蒙版时,照亮产品的不同特征。梁能够检测小缺陷,如缺少涂层、边缘、表面特征等。先进的光学元件使KLA Archer AIM能够详细检查不同的产品。光学器件对激光束进行精确的极化和分散,使其能够识别薄膜和晶片上脆弱的单蚀刻结构。它还可以定位产品接缝处的注册不当和/或粘结不良,并增强检测功能。资产的成像模型由CCD线摄像机组成,每行扫描一次就能捕捉到产品的图像。捕获的图片通过缺陷管理设备传递,该设备通过其高级算法识别缺陷。然后可以在产品进入生产线之前标记任何检测到的缺陷。除了检查能力外,TENCOR Archer AIM还为各种产品提供在线计量解决方桉。这些计量测量可以在检查过程中直接在监视器上读取,从而实现快速、方便的质量控制。为了充分利用Archer AIM系统,用户可以使用各种报告和工作流管理工具。这有助于确保在中央数据库中准确跟踪和维护结果。总之,KLA/TENCOR Archer AIM是一种坚固、可靠、精确的掩模和晶圆检测装置。它能够快速、精确地检测和识别缺陷,因此非常适合各种应用。该机器还提供在线计量解决方桉和其他功能,以帮助用户简化生产流程。
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