二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9176822 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9176822
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Overlay inspection system, 12"
Dual FOUP for DRAM and NAND
Fully automated overlay measurement module:
Coherence probe interference microscope
Automated wafer handling
Software: Windows XP based SW and user Interface
Integrated user interface
LCD Screen, 19"
Floppy drive, 3.5"
CD ROM Drive
Tape drive back up system (DAT)
Video hard copy printer
Network ready:
RJ45 (IOBase-T) BNC
AUI Connector
Tool options:
Triple FOUP
Electrical wiring
Machine power cable: 15 Meters
EMO Shield
Archer 02S & 03 painted skins
Light curtain with safety skirt double FOUP
CMP Measurement (CPM+ANRA)
Signal tower: (4) Lamps 40 mm
GEM/SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT & AGV / RGV
(2) PIO Devices for OHT: 3 PIO
E87 (Based on E39)
E40/E94/E90
(3) Thermos single wire CID, G4
RDM Machine client SW & license
AA On-tool client CD & license
Operation manual on CD
2011 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一种面罩和晶圆检测设备，设计用于满足半导体行业最具挑战性的要求。它提供了无与伦比的准确性和可重复性在检查即使是最困难的光掩模和标线形状的因素。凭借其最先进的技术，如计算机控制的光学、先进的模式识别算法以及完全集成的软件平台，可以可靠地检测金属和陶瓷材料的缺陷和异常。KLA Archer AIM+系统使用高级光学单元来捕获任何掩模或晶圆的关键细节。其光学机器包括多种镜片，能够快速准确地识别基板表面存在的缺陷和异常。该工具特别能够捕获较小的功能,而大多数竞争系统都无法做到这一点。TENCOR Archer AIM+资产还具有自动装卸样品的机器人处理模型。这确保了样品加载过程中的可重复性,并提供了增强的整体周期时间。此外，该设备还可以精确测量覆盖位置和对齐方式，使其成为评估掩模或晶片机械完整性的理想工具。为了确保准确的检测，Archer AIM+系统将其尖端硬件与复杂的模式识别和缺陷检测算法相结合。该单元可以识别遮罩或晶片表面上的模式和异常,分辨率高达0.1 μ m。它可以有效地检测任何角度或位置的颗粒、凹坑、条纹、针孔和裂纹。该机器还提供了许多改进分析能力的工具。其中包括图像失真校正、自动缺陷分类以及灵活的基于度量的规则工具。此外,该资产还与名为Archer Insight的软件平台集成在一起,使用户能够轻松管理其检查数据。KLA/TENCOR Archer AIM+型号是需要可靠且高度坚固的掩模和晶圆检测的半导体制造商的理想选择。它的先进技术和自动化处理程序确保了对产量进行精确和重复的检查。此外,Archer Insight为用户提供了一个直观的平台,用于管理、分析和报告检查数据。
还没有评论