二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9180730 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一种"掩模和晶片检验"设备,用于检测和识别半导体制造的掩模和晶片制造阶段的缺陷。KLA Archer AIM系统使集成电路芯片制造商能够比以往更快、更准确地增加缺陷检测和识别模式缺陷。它结合了一种新的检测技术--机器学习--来准确识别广泛的掩模和晶圆缺陷。TENCOR Archer AIM单元使用光学、图像捕获和集成软件的组合来检测和识别晶圆和掩模图样上的缺陷。机器学习被纳入机器，以实现更快、更准确的缺陷检测。它利用一种称为"广度成像"的先进成像和数据采集技术，利用广角透镜和多次曝光来创建单个掩蔽或晶圆图像。这使工具能够将掩模或晶片阵列与其相应的视觉检查设计进行比较,以便检测缺陷并对其进行分类。Archer AIM还采用了多种先进的图像处理技术来检测和分类缺陷。该资产使用"Superpixel"技术来分离位于彼此紧邻位置的多个缺陷。它还利用"边缘检测"来识别模式之间的微小差异，这可能表明由于不对齐或污染而导致的模式有缺陷。该模型通过"灵敏度调整"功能进一步增强，它允许用户调整设备的缺陷检测阈值，以最大限度地提高缺陷检测率。KLA/TENCOR Archer AIM系统的组件通过统一的单元进行集成，其中包括应用软件、网络存储、数据采集/控制站以及图像处理器控制器。图像处理器控制器负责捕获、分析和存储缺陷图像,而数据采集/控制站则用于控制机器参数,如掩码和晶圆位置、曝光和曝光持续时间。KLA Archer AIM工具可用于多种掩模模式和晶圆类型。它具有高性能的扫描速率,能够在短时间内常规扫描单个掩码或晶片阵列的大面积区域。该资产还能够每小时捕获数千个图像,并快速生成缺陷报告或图像。TENCOR Archer AIM模型提供一致可靠的检验结果。Archer AIM具有高速和卓越的缺陷检测功能,是制造商在降低成本的同时保证产品完整性的强大工具。