二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9186704 待售

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KLA / TENCOR Archer AIM+
已售出
ID: 9186704
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一款下一代的掩模和晶圆检测设备,旨在为先进的半导体技术提供高性能的计量工具。该系统支持多传感器测量,采用先进的成像技术,对纳米级范围内的缺陷和图样放置精度进行经济高效的检测。它具有独特的模式识别功能,可提供强大的解决方桉,快速、准确地识别高长宽比特性(如门阵列)。该单元利用KLA高分辨率成像技术,确保高对比度图像具有精确的对齐、倾斜和分辨率要求。此外,它还能够同时检查晶圆地形和全球计量,促进对高纵横比特征的模式误差的可靠检测。该机器利用可编程边缘检测、子像素分割和形状滤波算法,用于可见光和激光照明光图像的精确识别缺陷,无论其大小,以及纳米范围内的图样放置精度。该工具在洁净的房间环境中运行,提供了广泛的环境设置,包括湿度和温度。它的加速冷却和加热功能使测量能够快速调整,以符合最新的国际标准。该资产的高吞吐量和精确度相结合,使其成为生产线的理想选择。它具有用户友好的GUI,可简化操作和数据分析。由于该模型提供了一套完全匹配的校准类型,因此用户不必在繁琐的手动任务上浪费时间。此外,它还提供了实时分析功能,可帮助识别、分类和跟踪所有缺陷。为了保证每次检查的准确性和可重复性,设备采用自动聚焦算法和工具识别。该软件包括一个复杂的功能和规则库,可准确识别缺陷并实现快速缺陷检测。总体而言,KLA Archer AIM+是一个先进的、高性能的掩模和晶圆检测系统,它提供了最先进的半导体模式的详细计量。其可靠的结果加上用户友好的界面、快速灵活的操作,使其成为各种生产需求的理想选择。
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